שיטה של ​​ציפוי זהב עבה סלקטיבי ללא אלקטרו

מַטָרָה

לפתח שיטת ציפוי זהב עבה סלקטיבית ללא אלקטרו ולהפוך לתהליך טיפול משטח רב תכליתי

 

מטרה

עובי הזהב הסלקטיבי הוא מעל {{0}}.3um, ועובי הזהב הלא סלקטיבי הוא מעל 0.1um

 

בְּעָיָה

①תצהיר הזהב הכימי של תגובת העקירה, עם עובי הזהב של 0.03-0.05 מיקרון, מתאים רק לריתוך משטח.

②כאשר פני השטח של ניקל מכוסים בהדרגה בשכבת זהב, קצב השקיעה מאט, וקשה לעובי הזהב להיות גדול מ-0.3 מיקרון ודחוס.

③ ציפוי אלקטרו מצריך לידים נוספים, שלא נוח להוסיף אותם כאשר הרשתות שזורות

 

עִקָרוֹן

①שכבת הניקל משמשת להפחתה קטליטית. אטום המימן נספג כדי להשיג אלקטרונים. המימן האטומי מסופק על ידי המפחית. המימן האטומי מאבד אלקטרונים ונכנס לתמיסה והופך ליוני מימן.

②החיווט המקורי של לוח המעגלים ושכבת המתכת של אותה כרית מליטה ממלאים את התפקיד של הולכת אלקטרונים. יוני זהב מקבלים אלקטרונים באופן רציף על פני הזהב ומשקעים, דבר המקביל לאלקטרו-הזהבה

 

שיטה ושלב

שלב 1: בצע ציפוי זהב תזוזה כימית קונבנציונלית, התמונה היא תמונת SEM פי 10,000 של משטח זהב, ועובי הזהב הוא<0.02um

מטרה: לחשוף שכבת ניקל כדי להשיג אלקטרונים מפחיתים

 

שלב 2: הדבק סרט נגד ציפוי כדי לחשוף את כרית ההדבקה שתהיה מצופה בזהב עבה

 

שלב 3: בצע את הפחתה הראשונה של ציפוי זהב ללא חשמל

התמונה היא תמונת SEM פי 10000 מזהב

 

 

שלב 4: הסר את הסרט נגד ציפוי

 

שלב 5: הפחת שוב ציפוי זהב ללא חשמל

התמונה היא תמונת SEM פי 10000 מזהב

 

 

 

תוצאות

 

תוצאות מדידת עובי הזהב	החלפה ראשונה של זהב דק כימי	ציפוי הפחתה ראשון של זהב עבה כימי	ציפוי הפחתה כימי שני של זהב עבה
מיקום זהב עבה כימי סלקטיבי	0.009-0.014μm	0.293-0.349μm	0.326-0.385μm
מקומות אחרים	0.009-0.014μm	מכוסה בסרט נגד ציפוי	0.105-0.111μm

 

סיכום

השיטה של ​​ציפוי זהב סלקטיבי ללא אלקטרו יכולה לעמוד בדרישות היעד.